DGSメンテナンスデー(3/4)の定期確認

Stepperモーター
 [確認内容]
  BIOにて電源制御できるか確認
  Scriptを開始できるか確認
  リミットスイッチインストールされている箇所はGreenになっていることを確認
 [確認結果]
  問題なし（ITMYは使用中だったので今回は見送り)

Release Sensor
 [確認内容]
 Release Sensorが0であることを確認、1:着座
 [確認結果]
 ETMX, ETMY, ITMX, ITMY : 問題なし

Picomotor
 [確認内容]
  PingTestを行う
 [確認結果]
  既知のみ

 NG: 
  MCI,STM1,
  AS_WFS,POP_POM,POS_POM,REFL_WFS,POM1
  MCF(MCO,MCI)
  　=> 確認のみ、復旧作業はしませんでした。

 OK:
  ETMX,ETMY,ITMX,ITMY
  BS(IM,BF),SRM(IM,BF),SR2(IM,BF,STM),SR3(IM,BF)
  PRM(IM,BF),PR2(IM,BF),PR3(IM,BF)
  MCE,IMMT1,IMMT2,OMMT1,OMMT2,OSTM

  PCAL(EX1,EX2,EY1,EY2):使用時のみONなので未確認

温度調整機
 [確認内容]
 ・温度取得が正しく動作しているか。

 [確認結果]
  問題無し

精密空調
 [確認内容]
 ・温度取得が正しく動作しているか。

 [確認結果]
  問題無し

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Routine check for DGS maintenance day(May.4) 

Stepper motor
 [Check details]
  Check if power supply can be controlled by BIO
  Confirmation that the script can be started
  Check that the limit switches installed are green.
 [Result]
  No problem (ITMY was in use, so it was not used this time)

Release Sensor
 [Contents to be checked]
 Confirmation that Release Sensor is 0, 1: Seated
 [Confirmation Result]
 ETMX, ETMY, ITMX, ITMY : No problem

Picomotor
 [Confirmation details]
  Perform PingTest
 [Result]
  Known only

 NG: 
  MCI,STM1,
  AS_WFS,POP_POM,POS_POM,REFL_WFS,POM1
  MCF(MCO,MCI)
  　=> Confirmation only, no recovery work was performed.

 OK:
  ETMX,ETMY,ITMX,ITMY
  BS(IM,BF),SRM(IM,BF),SR2(IM,BF,STM),SR3(IM,BF)
  PRM(IM,BF),PR2(IM,BF),PR3(IM,BF)
  MCE,IMMT1,IMMT2,OMMT1,OMMT2,OSTM

  PCAL(EX1,EX2,EY1,EY2):Not checked because it is ON only when used

Temperature Controller
 [Check details]
 Is the temperature acquisition working properly?

 [Result]
  No problem

Precision Air Processer
 [Check details]
 Is the temperature acquisition working properly?

 [Result]
  No problem