DGSメンテナンスデー(2/4)の定期確認 Stepperモーター [確認内容] BIOにて電源制御できるか確認 Scriptを開始できるか確認 リミットスイッチインストールされている箇所はGreenになっていることを確認 [確認結果] 問題なし(BSは使用中だったので今回は見送り) Release Sensor [確認内容] Release Sensorが0であることを確認、1:着座 [確認結果] ETMX, ETMY, ITMX, ITMY : 問題なし Picomotor [確認内容] PingTestを行う [確認結果] 既知のみ NG: MCI,STM1, AS_WFS,POP_POM,POS_POM,REFL_WFS,POM1 MCF(MCO,MCI)  => 確認のみ、復旧作業はしませんでした。 OK: ETMX,ETMY,ITMX,ITMY BS(IM,BF),SRM(IM,BF),SR2(IM,BF,STM),SR3(IM,BF) PRM(IM,BF),PR2(IM,BF),PR3(IM,BF) MCE,IMMT1,IMMT2,OMMT1,OMMT2,OSTM PCAL(EX1,EX2,EY1,EY2):使用時のみONなので未確認 温度調整機 [確認内容] ・温度取得が正しく動作しているか。 [確認結果] 問題無し 精密空調 [確認内容] ・温度取得が正しく動作しているか。 [確認結果] 問題無し --- Routine check for DGS maintenance day (Feb. 4) Stepper motor [Check contents] Check if the power supply can be controlled by BIO. Check if the script can be started. Check that the limit switch installed is green. [Check result] No problem (BS was in use, so it was not used this time) Release Sensor [Checked] Confirmed that the Release Sensor is 0. 1: Seated [Check result] ETMX, ETMY, ITMX, ITMY : No problem Picomotor [Checked] Ping Test is performed. [Check result] Known only NG: MCI,STM1, AS_WFS,POP_POM,POS_POM,REFL_WFS,POM1 MCF(MCO,MCI)  => Confirmation only, no recovery work was done. OK: ETMX,ETMY,ITMX,ITMY BS(IM,BF),SRM(IM,BF),SR2(IM,BF,STM),SR3(IM,BF) PRM(IM,BF),PR2(IM,BF),PR3(IM,BF) MCE,IMMT1,IMMT2,OMMT1,OMMT2,OSTM PCAL(EX1,EX2,EY1,EY2):Not confirmed because it is ON only when used. Temperature Control [Checked] Check if the temperature acquisition is working properly. [Check result] No problem Precision air Processer [Checked] Is the temperature acquisition function working properly? [Check result] No problem