DGSメンテナンスデー(1/7)の定期確認

Stepperモーター
 [確認内容]
  BIOにて電源制御できるか確認
  Scriptを開始できるか確認
  リミットスイッチインストールされている箇所はGreenになっていることを確認
 [確認結果]
  問題なし

 次の設定を行なった。
  ETMX ,ITMX GASのソフトウエアリミットを設定
  SRMのHWリミットスイッチの有効化

Release Sensor
 [確認内容]
 Release Sensorが0であることを確認、1:着座
 [確認結果]
 ETMX, ETMY, ITMX, ITMY : 問題なし

Picomotor
 [確認内容]
  PingTestを行う
 [確認結果]
  既知のみ

 NG:
  ETMY(2022/1/6再起動した)
  PR2_IM
   => 再起動した

  MCI,STM1,IMMT2
  AS_WFS,POP_POM,POS_POM,REFL_WFS,POM1
  MCF(MCO,MCI)
  　=> 確認のみ、復旧作業はしませんでした。

 OK:
  ETMX,ETMY,ITMX,ITMY
  BS(IM,BF),SRM(IM,BF),SR2(IM,BF,STM),SR3(IM,BF)
  PRM(IM,BF),PR2(BF),PR3(IM,BF)
  MCE,IMMT1,OMMT1,OMMT2,OSTM

  PCAL(EX1,EX2,EY1,EY2):使用時のみONなので未確認

温度調整機
 [確認内容]
 ・温度取得が正しく動作しているか。

 [確認結果]
  問題無し

精密空調
 [確認内容]
 ・温度取得が正しく動作しているか。

 [確認結果]
  問題無し

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Routine check on DGS maintenance day (1/7)

Stepper motor
 [Checked]
  Check if the power supply can be controlled by BIO.
  Check if the script can be started.
  Confirmed that the limit switch installed is in Green.
 [Check result]
  No problem.

 The following settings were made.
  Set the software limit of ETMX and ITMX GAS.
  Enable the HW limit switch of SRM.

Release Sensor
 [Checked]
 Confirmed that the Release Sensor is 0. 1: Seated
 [Check result]
 ETMX, ETMY, ITMX, ITMY : No problem

Picomotor
 [Checked]
  Ping Test is performed.
 [Check result]
  Known only

 NG:
  ETMY (rebooted on 2022/1/6)
  PR2_IM
   => Restarted.

  MCI,STM1,IMMT2
  AS_WFS,POP_POM,POS_POM,REFL_WFS,POM1
  MCF(MCO,MCI)
  　=> Confirmation only, no recovery work was done.

 OK:
  ETMX,ETMY,ITMX,ITMY
  BS(IM,BF),SRM(IM,BF),SR2(IM,BF,STM),SR3(IM,BF)
  PRM(IM,BF),PR2(BF),PR3(IM,BF)
  MCE,IMMT1,OMMT1,OMMT2,OSTM

  PCAL(EX1,EX2,EY1,EY2):Not confirmed because it is ON only when used.

Temperature control
 [Checked]
 Check if the temperature acquisition is working properly.

 [Check result]
  No problem

Precision air conditioning
 [Checked]
 Is the temperature acquisition function working properly?

 [Check result]
  No problem