DGSメンテナンスデー(12/03)の定期確認

Stepperモーター
 [確認内容]
  BIOにて電源制御できるか確認
  Scriptを開始できるか確認
  リミットスイッチインストールされている箇所はGreenになっていることを確認
 [確認結果]
  問題なし
　ただし、ETMXは使用中なので未確認

Release Sensor
 [確認内容]
 Release Sensorが0であることを確認、1:着座
 [確認結果]
 ETMX, ETMY, ITMX, ITMY : 問題なし
 ETMX_F1_1 : 先週(Nov.25 10:32:50 JST)の段階で異常が消えていた。フリップケーブルの交換を行っているとのこと。
 
Picomotor
 [確認内容]
  PingTestを行う
 [確認結果]
  問題なし(NGは全て既知)

 NG:
  MCI,STM1,IMMT1,IMMT2
  AS_WFS,POP_POM,POS_POM,REFL_WFS,POM1
  MCF(MCO,MCI)
  　=> 確認のみ、復旧作業はしませんでした。

 OK:
  ETMX,ETMY,ITMX,ITMY
  BS(IM,BF),SRM(IM,BF),SR2(IM,BF,STM),SR3(IM,BF)
  PRM(IM,BF),PR2(IM,BF),PR3(IM,BF)
  MCE
  OMMT1,OMMT2,OSTM

  PCAL(EX1,EX2,EY1,EY2):使用時のみONなので未確認

温度調整機
 [確認内容]
 ・温度取得が正しく動作しているか。

 [確認結果]
  問題無し
ーーー
Routine check for DGS maintenance day (12/03)

Stepper motor
 [Checked]
  Check if the power supply can be controlled by BIO.
  Check if the script can be started.
  Confirmed that the limit switch installed is in Green.
 [Check result]
  No problem
  However, ETMX is in use, so not confirmed yet.

Release Sensor
 [Checked]
 Confirmed that the Release Sensor is 0. 1: Seated
 [Check result]
 ETMX, ETMY, ITMX, ITMY : No problem
 ETMX_F1_1 : Abnormality disappeared as of last week (Nov.25 10:32:50 JST).
  They are replacing the flip cable.
 
Picomotor
 [check details]
  Performed PingTest
 [Check result]
  No problem (all NGs are known)

 NG:
  MCI,STM1,IMMT1,IMMT2
  AS_WFS,POP_POM,POS_POM,REFL_WFS,POM1
  MCF(MCO,MCI)
  　=> Confirmation only, no recovery work was done.

 OK:
  ETMX,ETMY,ITMX,ITMY
  BS(IM,BF),SRM(IM,BF),SR2(IM,BF,STM),SR3(IM,BF)
  PRM(IM,BF),PR2(IM,BF),PR3(IM,BF)
  MCE
  OMMT1,OMMT2,OSTM

  PCAL(EX1,EX2,EY1,EY2):Not confirmed since it is ON only when used.

Temperature controller
 [Checked]
 Check if the temperature acquisition is working properly.

 [Check result]
  No problem