DGSメンテナンスデー(10/29)の定期確認 Stepperモーター [確認内容] BIOにて電源制御できるか確認 Scriptを開始できるか確認 リミットスイッチインストールされている箇所はGreenになっていることを確認 [確認結果] 問題なし Release Sensor [確認内容] Release Sensorが0であることを確認、1:着座 [確認結果] ETMY, ITMX, ITMY : 問題なし ETMX_F1_1 : 異常, 他は問題なし(既知) Picomotor [確認内容] PingTestを行う [確認結果] NG: 問題無し MCI,STM1,IMMT1,IMMT2:NG AS_WFS,POP_POM,POS_POM,REFL_WFS,POM1: NG  => 確認のみ、復旧作業はしませんでした。 OK: ETMX,ETMY,ITMX,ITMY BS(IM,BF),SRM(IM,BF),SR2(IM,BF,STM),SR3(IM,BF) PRM(IM,BF),PR2(IM,BF),PR3(IM,BF) MCF(MCO,MCI),MCE OMMT1,OMMT2,OSTM PCAL(EX1,EX2,EY1,EY2):使用時のみONなので未確認 温度調整機 [確認内容] ・温度取得が正しく動作しているか。 [確認結果] 問題無し ーーー Routine check for DGS maintenance day (Oct. 29) Stepper motor [Checked] Check if the power supply can be controlled by BIO. Check if the script can be started. Confirmed that the limit switch installed is in Green. [Check result] No problem Release Sensor [Checked] Confirmed that the Release Sensor is 0. 1: Seated [Check result] ETMY, ITMX, ITMY : No problem ETMX_F1_1 : abnormal, no other problems (known) Picomotor [Checked] PingTest is performed. [Result] NG: No problem MCI,STM1,IMMT1,IMMT2: NG AS_WFS,POP_POM,POS_POM,REFL_WFS,POM1: NG  => Confirmation only, no recovery work done. OK: ETMX,ETMY,ITMX,ITMY BS(IM,BF),SRM(IM,BF),SR2(IM,BF,STM),SR3(IM,BF) PRM(IM,BF),PR2(IM,BF),PR3(IM,BF) MCF(MCO,MCI),MCE OMMT1,OMMT2,OSTM PCAL(EX1,EX2,EY1,EY2):Not confirmed because it is ON only when used. Temperature Control [Checked] Check if the temperature acquisition is working properly. [Check result] No problem