DGSメンテナンスデー(9/10)の定期確認

DGSメンテナンスデー(9/10)の定期確認を行いました。
既知の問題以外特にありません。

Stepperモーター
 [確認内容]
  BIOにて電源制御できるか確認
  Scriptを開始できるか確認
  リミットスイッチインストールされている箇所はGreenになっていることを確認
 [確認結果]
  問題なし

Release Sensor
 [確認内容]
 Release Sensorが0であることを確認、1:着座
 [確認結果]
 ETMY, ITMX, ITMY : 問題なし
 ETMX_F1_1 : 異常, 他は問題なし(既知)

Picomotor
 [確認内容]
  PingTestを行う
 [確認結果]

 NG:
  ETMX: NG
  SR2(IM): NG
   => Rebootして復旧しました
  MCI,STM1,IMMT1,IMMT2:NG
  AF_WFS,POP_POM,REFL_WFS,POP1,STM2: NG
  　=> 確認のみ、復旧作業はしませんでした。
 OK:
  ITMX,ITMY,ETMY
  BS(IM,BF),SRM(IM,BF),SR2(BF),SR3(IM,BF)
  PRM(IM,BF),PR2(IM,BF),PR3(IM,BF)
  MCF(MCO,MCI),MCE
  OMMT1,OMMT2,OSTM
  PCAL(EX1,EX2,EY1,EY2):使用時のみONなので未確認
ーーー
Routine confirmation of DGS maintenance day (Sep.10)

Routine checks for DGS maintenance day (Sep.10) were performed.
There are no problems except for the known ones.

Stepper motor
 [Checked that the power supply can be controlled by BIO.]
  Checked if power can be controlled by BIO.
  Check if Script can be started.
  Check that the limit switch installed is green.
 [Check result]
  No problem

Release Sensor
 [Checked]
 Confirmed that the Release Sensor is 0. 1: Seated
 [Check result]
 ETMY, ITMX, ITMY : No problem
 ETMX_F1_1 : abnormal, no other problems (known)

Picomotor
 [Checked]
  PingTest is performed.
 [Result]

 NG:
  ETMX: NG
  SR2(IM): NG
   => Rebooted and recovered.
  MCI,STM1,IMMT1,IMMT2:NG
  AF_WFS,POP_POM,REFL_WFS,POP1,STM2: NG
  　=> Confirmation only, no recovery work done.
 OK:
  ITMX,ITMY,ETMY
  BS(IM,BF),SRM(IM,BF),SR2(BF),SR3(IM,BF)
  PRM(IM,BF),PR2(IM,BF),PR3(IM,BF)
  MCF(MCO,MCI),MCE
  OMMT1,OMMT2,OSTM
  PCAL(EX1,EX2,EY1,EY2):Not confirmed because it is ON only when used.