リリースセンサーの配線(チェンバー外側) 1. Ex-I/Oシャーシ(JGW-E1706268)をラックにインストールした。 2. チェンバーのフィードスルーからEx-I/Oシャーシまで配線した。 (Ex-I/OシャーシからDGSまでは配線していない) ----- Wiring the release sensor (outside the vacuum chamber) 1. Installed the Ex-I/O chassis (JGW-E1706268) in the rack. 2. Wired between the chamber feedthrough and the Ex-I/O chassis. (I did not wire from the Ex-I/O chassis to the DGS.)