Monitoring of IP by ITMY venting (K-Log#16091へのADD COMMENT)

昨日に引き続きIYのVentingの作業でIPが±1000[um]を超えないようにIPのステッパーモーターを移動させました。
17:45の時点で次の値でした。

K1:VIS-ITMY_IP_DAMP_L_INMON:-15
K1:VIS-ITMY_IP_DAMP_P_INMON:90
K1:VIS-ITMY_IP_DAMP_Y_INMON:-96
K1:VAC-PRESSURE_Y_IYA: 57000

以降はmiyo-sanへ引き継ぎを行いました。


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Continuing the IY Venting work from yesterday, I moved the IP stepper motor so that the IP would not exceed ±1000 [um].
At 17:45, the values were as follows

K1:VIS-ITMY_IP_DAMP_L_INMON:-15
K1:VIS-ITMY_IP_DAMP_P_INMON:90
K1:VIS-ITMY_IP_DAMP_Y_INMON:-96
K1:VAC-PRESSURE_Y_IYA: 57000

After that, I handed over to miyo-san.