PR2 SFのstepperモーターのスタックについて確認しました。 残念ながらチャンバーの蓋を開けたところスタック状態が解除されてしまった。 K1:VIS-PR2_SF_LVDTINF_GAS_INMONを確認したところ モーターを動作させる直前に多分蓋を開けたタイミングでLVDTの張り付きがなくなっていた。 モーターはあてついた位置から-500000移動していたが蓋を開けた時に一番下であたっていた。 その為、モーターを全域駆動させてステッパーの駆動範囲を測定した。 ステッパーモーターの駆動可能範囲は、0から-1750000が駆動範囲で-50000に現在います。 現在の位置は、最初開始時点のLVDT(-15035)に位置に近い(-14120)位置にしました。 他気づいたこと。 モーターの極性は反転していた。 KeyStoneが上がる方がモーターのマイナス方向(ステッパーの上向の移動) I checked about the stack of stepper motors in PR2 SF. Unfortunately, when I opened the chamber lid, the stuck state was released. I checked K1:VIS-PR2_SF_LVDTINF_GAS_INMON. K1:VIS-PR2_SF_LVDTINF_GAS_INMON and found that the LVDTs were no longer stuck at the timing when I opened the lid, probably just before I started the motor. The motor had moved -5,000,000 from the position where it was attached, but it was hitting at the bottom when the lid was opened. Therefore, we measured the drive range of the stepper by driving the motor throughout its range. The driveable range of the stepper motor is from 0 to -175,000, and it is currently at -50,000. The current position was set to (-14120), which is close to the position of the LVDT (-15035) at the initial start. Other things I noticed. The polarity of the motors was reversed. The one where KeyStone is up is the negative direction of the motor (upward movement of the stepper). Translated with www.DeepL.com/Translator (free version)